本报讯 （记者 肖倩 见习记者 耿杨洋）日前，中国化学工程华陆工程科技有限责任公司（简称华陆公司）技术团队提出的“一种用于多晶硅生产提高还原沉积反应效率的方法”荣获中国专利银奖。该技术极大缩短了多晶硅产品生产周期，提高了单位时间产量，大幅度降低了装置投资、产品电耗及生产成本，整体技术指标处于国际领先。

多晶硅是太阳能光伏电池产业、半导体工业和电子信息产业中重要的功能性材料，也是硅材料产业链中十分重要的中间产品，被喻为“光伏产业的基石”。

多晶硅还原装置作为多晶硅最终产品的“生产车间”，同时也是多晶硅生产过程中的主要耗能单元，其能否高效、高质量生产运行，将对最终的产品质量、能源消耗起到决定性作用。目前，多晶硅主流生产工艺是改良西门子法，即采用高纯氯硅烷在还原炉内进行气相沉积反应生产高纯多晶硅。但气相沉积反应为多变量复杂生产过程，受多种因素影响，难以控制。

基于机理突破、模拟验证、创新实践和多年经验的积累沉淀，华陆公司多晶硅技术团队首次提出分别采用独立的汽化器和过热器，将三氯氢硅和二氯二氢硅液体进行汽化和过热，使得三氯氢硅气体、二氯二氢硅气体及高纯氢气通过各自独立的流量控制单元，以合适的时间控制、合适的配比和流量，进入还原炉进行反应。通过一系列变量控制操作办法，该团队在提高多晶硅产品质量、生产效率的同时，还避免了产生无定型硅粉以及造成后续系统堵塞。

长期以来，华陆公司坚持深耕多晶硅领域，通过自主创新形成了集成创新效益高的多晶硅技术群，拥有包括3000吨级、6000吨级、1万吨级、1.5万吨级、3万吨级、5万吨级、10万吨级等一系列完整的多晶硅技术工艺包，实现了多晶硅产品由千吨级到万吨级的跨越。

截至目前，华陆公司多晶硅技术团队设计的多晶硅项目产能已占全国总产能90%以上。近3年，国内新增的300万吨多晶硅产能项目中，大多数的工程设计都是由华陆公司采用专有专利技术完成。